更進(jìn)一步
增強(qiáng)型在初始抽空期間可減少多達(dá) 20％ 的峰值電力需求，這意味著它能夠在不損失性能的情況下抽空大容量腔室，且在該粗抽壓力下抽取速度可提高達(dá) 25％，這也有助于提高應(yīng)用循環(huán)頻率。
XDS 干式渦旋泵
在干泵真空領(lǐng)域，XDS 干式渦旋泵已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，在廣泛的應(yīng)用中被證明是一種堅(jiān)固耐用且清潔的真空泵解決方案。
現(xiàn)在，結(jié)合專利的雙啟動(dòng)渦旋形式技術(shù)和旁通閥，Edwards 得以提供 XDS35i 增強(qiáng)型系列泵，以補(bǔ)充我們?cè)械漠a(chǎn)品線。
nXDS 干式渦旋泵
nXDS是我們最新一代的渦旋泵，與其他泵相比，具有更高的抽取速度、更低的極限壓力、更低的功耗和更低的噪聲級(jí)。
nXDS 泵的設(shè)計(jì)力求實(shí)現(xiàn)完全現(xiàn)場(chǎng)維修。其智能控制功能和長(zhǎng)達(dá)五年的維修間隔可降低擁有成本，使其成為當(dāng)今技術(shù)最先進(jìn)的首選小型干泵。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
溫控風(fēng)扇：可以在低負(fù)載條件下降低風(fēng)扇轉(zhuǎn)速，從而使噪聲降至僅 52 dB(A)。
軸承罩：可確保將制程氣體與軸承潤(rùn)滑劑相分離，以確保清潔的真空環(huán)境，并避免制程氣體中的污染物進(jìn)入潤(rùn)滑劑中，從而延長(zhǎng)軸承的使用壽命。
變頻器驅(qū)動(dòng)：全球范圍內(nèi)泵性能完全相同、易于控制、功耗降低和自動(dòng)電壓調(diào)整特性，從而有助于打造很好的用戶體驗(yàn)。
渦旋盤經(jīng)優(yōu)化設(shè)計(jì)后：轉(zhuǎn)速提高，極限真空比一代提高一個(gè)數(shù)量級(jí)，低到極限壓力僅為7 x 10-3mbar。
經(jīng)優(yōu)化設(shè)計(jì)的端面密封技術(shù)：使得使用壽命發(fā)生顯著變化，就大多數(shù)應(yīng)用而言，典型的端面密封條使用壽命達(dá)到 2 年以上。
高流量氣鎮(zhèn)特性：可實(shí)現(xiàn)高到 220 g/hr 的速度抽取蒸汽(包括水蒸汽)。
產(chǎn)品應(yīng)用：
一般清潔泵送應(yīng)用，電子掃描顯微鏡-SEM，射束線和高能物理，前級(jí)渦輪泵，超高速離心機(jī)，覆層，低溫學(xué)，脫氣/硫化-油，環(huán)氧樹脂，蒸餾/萃取/過(guò)濾，冷凍干燥，熔爐，凝膠體干燥，實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空，激光、氣體回收和再循環(huán)，氦檢漏儀，負(fù)載鎖和傳輸腔，稀有氣體再循環(huán)，稀有氣體回收，冷凍制造，研發(fā)，旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器，SEM/FIB（離子束維修），溶劑回收，表面科學(xué)儀器。
